Semiconductor charcterization system

Semiconductor charcterization system

Fixed Assets No: F1100107

NTIS No: NFEC-2012-03-157672

Maker/Model: Keithley Instruments/4200-SCS

Standard classification: Machining/Experimental equipment > Semiconductor equipment > Probe station

Equipment Departments: Department of Information & Communication Engineering

Description
Specifications
1)메인 프레임
– 윈도우 XP 환경의 장비
2)Medium Power Source/Measure Unit
– 전류 공급 범위 : 100mA to 100nA
– 전류 측정 최소 분해능 : 100fA
– 전압 공급 범위 : -100 V to 100 V
– 전압 측정 최소 분해능 : 5μV1)Remote Preamp for 0.1fA Resolution
– 동작 범위 : -100 V to 100 V -100 mA to 100 mA
– 전류 측정 최소 분해능 : 5 μV 0.1 fA
2)Multi Frequency Capacitance unit
– 주파수 레인지 : 1kHz to 10MHz
– 최소 분해능 : 10kHz 1MHz
– DC 전압 bias 범위(Min.) : ±25V
– Triax cable set.
– Triax to BNC Adapter.
Applications
전기소자의 전압-전류 및 전압-캐패시턴스 특성측정 신규로 설계된 나노 전기 소자의 전기적 특성 측정 대학원 및 학부생의 저닉소자 특성 측정실험 실습에 사용